他把这个联系拆开看，最后一段是最接近保温温度的阶段，这个阶段的斜率决定了进入保温段时晶圆的热状态，如果斜率太快，进保温的时候晶圆内部还有温度梯度，边缘和中心的温度不一致，不一致的热状态下进行保温，界面反应速率就不一样，边缘的界面态就修复不完全。

　　“最后一段斜率要再压慢，”王凯说，“让晶圆在进保温之前有足够时间把内部温度梯度拉平，进保温的时候全片温度一致，界面修复才能均匀。”

　　旁边姜涛，...