“针对液流稳定性差和缺陷率高的问题，我们有三个可选途径去解决。”

　　这里何栖远说的问题，简单说就是光刻机在高速扫描作业过程中，很容易出现液膜破裂、气泡残留的问题。

　　就像大家平时手机贴膜，如果没有工具辅助，就很容易出现气泡一样，最终就是整张手机膜废掉。

　　换到晶圆光刻下的语境，就是所谓液流系统的问题。

　　梁孟松点了点自己的太阳穴，感觉有些一跳一跳的，我卡了一个月的难题，你不但要解决...